FUNCTION LIST
测量项目
全球装机量
- 5780 +
- KLA Tencor系列
- 600+
- FRT MICROPRO 全自动系列
- 114 +
- LUMINA AT 系列
- 1300 +
- FORMFACTOR CASCADE系列
- KLA （美国）
- KLA公司始于 1976年，后于1997 年由KLA 仪器公司和Tencor 仪器公司合并创立，改名科磊（KLA-Tencor），总部位于美国加州米尔皮塔斯市，公司主要为半导体、数据存储、LED 及其他相关纳米电子产业提供前道工艺控制和良率管理的解决方案。科磊自成立起便深耕于半导体前道量检测设备行业，目前其产品种类已经覆盖加工工艺环节的各类前道光学、电子束量检测设备。凭借其检测产品高效、精确的性能特点，科磊以52%的市场份额在行业内具有绝对的龙头地位。三星电子、台积电、Intel、海力士、联华、华虹、中芯国际、东芝、美光等IDM/Foundry 均是公司重要客户。
- LUMINA （美国）
- LUMINA 成立于2019年，它由来自全球公认的硅谷工业系统公司的经验丰富的技术人员和高级工程师团队领导。Steven Meeks总裁/首席技术官，历史背景：Candela Instruments的联合创始人兼首席技术官；Hung Nguyen，工程副总裁，历史背景：Zeta Instruments，KLA-Tencor and Candela 工程总监；Ali Shahdoost，运营总监，历史背景：HDD公司工程总监/KLA-Tencor公司的系统和机械工程经，Charles Chen，市场部副总裁，KLA./Zeta & P3D全球事业部市场经理。
- FRT （德国）
- 德国FRT公司 成立于1995年，专业从事半导体行业，表面光学3D轮廓测量系统；FRT于2018年荣获3DInCites奖项，FRT MicroPro®是其第三代表面计量工具，将多传感器技术和混合计量结合在一个计量系统中。 MicroPro®使用光学多传感器技术来测量不接触的样品的形貌和总厚度或薄膜厚度。它可以快速、高效、直观地为3D IC、先进封装和MEMS应用程序执行广泛的测量任务。全自动 测量系列，全球装机量 超600多台。
- FORMFACTOR （美国）
- FormFactor始于1993年，当时前IBM研究员Igor Khandros开始在纽约一个小型实验室为半导体行业开发产品。很快，Khandros和他的小团队就开始使用引线键合MicroSpring，这是三种半导体应用的基础技术：插座、封装和探针卡。
从那些温和的开始，我们与行业一起成长，不断应用实用创新来帮助半导体制造商跟上摩尔定律的步伐。今天，我们是全球半导体行业先进SoC和存储器探针卡的顶级供应商。
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