400-1059178
首页 > 解决方案
Filmetrics R54-系列
08-17
2022
Filmetrics R54-系列
系统优势 ·密闭系统有助于测量光灵敏或环境敏感样品 ·可容纳最大直径为300毫米的样品 ·可配置四探针(4PP)或非接触式涡流(EC)模式 ·15毫米的最大样品高度 ·方块电阻测量范围覆盖十个量级 ·...
Lumina 半导体应用
05-21
2022
Lumina 半导体应用
半导体、硅晶圆、图案化晶       薄膜缺陷     薄膜缺陷通常是由于工艺条件或涂覆薄膜之前留在表面上的先前污染而导致的涂层均匀性差而导致的薄膜缺...
Filmetrics® R50系列 电阻测试仪 半导体应用
03-17
2022
Filmetrics® R50系列 电阻测试仪 半导体应用
  金属薄膜均匀性 金属薄膜的电阻均匀性对于确保元件性能至关重要,大多数金属薄膜都可以通过4PP和EC进行测量。EC推荐用于较厚的高导电金属膜,4PP适用于较薄的金属膜(> 10Ω/s...
FRT MicroProf®SERIES 产品介绍
03-17
2022
FRT MicroProf®SERIES 产品介绍
    一台设备即可满足所有3D全景及微观形貌测量需求 4种光学像模式+AFM原子力模式       双探头 测试模式 解决双面厚度,双面面型,TTV...