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光学3D显微轮廓测量
多功能 光谱共聚焦3D轮廓仪 FocalSpec
纳米级 3D白光干涉成像 KLA-Profilm 3D
全自动 晶圆全检仪 FRT MicroProf®
5轴 空间三维全尺寸显微测量系统 Alicona
原子力台阶仪
亚纳米 全自动 原子力显微镜 Park
亚纳米 半自动 原子力显微镜 Park
纳米级 全自动 接触式 台阶仪 KLA-Tencor
纳米级 半自动 接触式 台阶仪 KLA-Tencor
表面缺陷检测
激光 表面缺陷分析 Lumina
光学 表面缺陷分析 Candela
薄膜厚度表征
透明膜层 单点厚度测量 Filmetrics
透明膜层 面型厚度测量 Filmetrics
透明膜层 在线膜厚测量 Filmetrics
非透明 金属膜层测量 Filmetrics
电性表征测试
电阻率测试仪 四探针台 Filmetrics
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粗糙度/台阶/角度/ 弧度 (探针接触式）
粗糙度/台阶/角度/ 弧度 (光学非接触式）
TTV,BOW,WARP，厚度…
360度 全景3D显微轮廓测量
表面缺陷检测
表面缺陷 判别统计
穿透式 内部缺陷分析
薄膜膜厚检测
透明膜层 厚度/反射率 -（单点）
透明膜层 厚度/反射率 -（面型）
透明膜层 厚度/反射率 -（在线）
非透明 金属膜 厚度/反射率
电性表征测量
衬底电阻率、片电阻
薄膜电阻率、片电导率和体电导率
DC 直流 / (IV、CV)测试
1/ f 噪声测试
RF射频测试
LD/LED/PD的光强/波长测试
低电流（100 fA 级）测试
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芯片内部线路/电极/PAD测试
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电阻率测试仪 四探针台
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