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光学3D显微轮廓测量
多功能 光谱共聚焦3D轮廓仪 FocalSpec
纳米级 3D白光干涉成像 KLA-Profilm 3D
全自动 晶圆全检仪 FRT MicroProf®
5轴 空间三维全尺寸显微测量系统 Alicona
原子力台阶仪
亚纳米 全自动 原子力显微镜 Park
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纳米级 全自动 接触式 台阶仪 KLA-Tencor
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透明膜层 单点厚度测量 Filmetrics
透明膜层 面型厚度测量 Filmetrics
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360度 全景3D显微轮廓测量
表面缺陷检测
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透明膜层 厚度/反射率 -（单点）
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非透明 金属膜 厚度/反射率
电性表征测量
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电阻率测试仪/四探针台 R50系列
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