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粗糙度/台阶/角度/ 弧度 (探针接触式)
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PARK NX10
独有的True Non-Contact™模式 可编程自动化测量
Park消除串扰技术 亚纳米可靠性
扫描离子电导显微镜模块 丰富应用领域
性价比高 经济首选
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Tencor™ P-7
全自动 更高精度 更高效率
全电动150mmXY级、Z级,360° θ阶段
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顶部模式识别视图或侧视图测量可视化
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Tencor™ D-600
粗糙度 台阶高精度测量的高性价比
XY自动平台 200mm平台
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用于测量可视化的侧视图光学系统
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