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薄膜膜厚检测
Filmetrics F20
● 速度快 经济实惠 全球销冠
● 一键自动测量 操作简单
● 最快不到1s,完成厚度和反射率测试
(需根据测量厚度,选择相应波长型号配置)
Filmetrics F3-sX
● 测量半导体与介电层薄膜厚度到3毫米
● 一键自动测量,操作简单
● 最快不到1s,完成厚度和反射率测试
(需根据测量厚度,选择相应波长型号配置)
Filmetrics F3-CS
● 为微小视野及微小样品测量设计,如聚对二甲苯和真空镀膜层厚度
● 一键自动测量,操作简单
● 最快不到1s,完成厚度和反射率测试
(需根据测量厚度,选择相应波长型号配置)
Filmetrics F10-ARc
● 适用测量曲面样品 眼镜镜片 镜头
● 一键自动测量 操作简单
● 最快不到1s,完成厚度和反射率测试
(需根据测量厚度,选择相应波长型号配置)
Filmetrics F10-RT
● 适用真空镀膜产品,反射和透色光谱
● 一键自动测量,操作简单
● 最快不到1s,完成厚度和反射率测试
(需根据测量厚度,选择相应波长型号配置)
Filmetrics F10-HC
● 分析单层和多层硬涂层,如汽车涂层
● 一键自动测量,操作简单
● 最快不到1s,完成厚度和反射率测试
(需根据测量厚度,选择相应波长型号配置)
Filmetrics F10-AR
● 分析减反涂层和镜头上的硬涂层
● 一键自动测量,操作简单
● 最快不到1s,完成厚度和反射率测试
(需根据测量厚度,选择相应波长型号配置)
Filmetrics R54-系列
● 自动化测量
● 金属膜和背面工艺层厚度测量
● 衬底电阻率、片电阻等电性能测试
● 可选配接触式四点探头和非接触式涡流探头
系统优势
·密闭系统有助于测量光灵敏或环境敏感样品
·可容纳最大直径为300毫米的样品
·可配置四探针(4PP)或非接触式涡流(EC)模式
·15毫米的最大样品高度
·方块电阻测量范围覆盖十个量级
·可以使用矩形、线性、极坐标和自定义配置等采样点排列方式进行测绘
·第高精度X-Y样品台
·业内较小的涡流测量尺寸
·易于使用的软件界面
·兼容所有KLA方块电阻探针
R54四探针和涡流测量方法
四探针(4PP)和涡流(EC)是测量方块电阻的两种常用技术。R54在接触式四探针方法上覆盖了10个电阻量级范围,并配置了高分辨率和高灵敏度的非接触式涡流方法,延续了KLA的创新历史和优势地位。
四探针概述
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四探针提供了一种简单而直接的电阻测量方法。在所测导电层与衬底之间有一个非导电阻挡层时,由四个导电引脚组成的探针在受控的力的作用下接触导电层表面。标准引脚配置在两个外侧引脚上施加电流,并测量两个内侧引脚上的电压。为测量方块电阻,导电层厚度应小于探针引脚间距的1/2。KLA开创了R54双配置技术,可交替测量不同引脚上的电压,对边缘效应应用动态校正并纠正引脚间距误差。KLA为导电薄膜或离子注入层提供多种的探针配置,以优化表面材料特性的测量。 |
涡流概述
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涡流是一种非接触式的导电薄膜的方块电阻测量技术。在线圈中施加变化的电流以产生变化的磁场。当线圈靠近导电表面时,变化的磁场会在导电表面中感应变化的(涡流)电流。这些涡流反过来产生自己的变化的磁场,该磁场与探针线圈藕合,产生与样品的方块电阻成正比的信号变化。KLA独特的涡流解决方案使用单侧(上部)探针,在每个测量点动态调整探针到样品的高度,这对于测量的准确度和再现性至关重要。涡流方法不受表面氧化的影响,同时也是不太适合四探针接触式方法的较软样品的理想选择。 |
四探针与涡流方法之间的关系
KLA四探针和涡流解决方案在各自的常用范围内都表现出良好的相关性。Filmetrics R54使用KLA先进的校准方法,
来确保四探针和涡流技术的测量精度。
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市场分类和应用
汽车
太阳能
LED
半导体
电路板
平板显示器
学术研究
晶圆加工
·金属化层
·晶圆掺杂变化
·衬底表征
·离子注入变化分布
·激光退火表征技术
技术
·金属沉积
·柔性衬底表征
·薄膜电导率
·分布图
研发及其他应用
·金属薄膜
·柔性薄膜电阻率
·可穿戴设备
·过滤网
·可充电电池
·多层薄膜表征
Filmetrics F50-系列
XY自动采点获取信息,并行程3D面型数据
样品直径可达450毫米
需根据测量厚度,选择相应波长型号配置