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薄膜膜厚检测
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Filmetrics F54 XY-200
XY自动采点获取信息,并行程3D面型数据
适用尺寸最大达到200mm×200mm
需根据测量厚度,选择相应波长型号配置
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Filmetrics F60-T
XY自动采点获取信息,并行程3D面型数据
凹槽自动检测、自动基准确定、全封闭测量平台
需根据测量厚度,选择相应波长型号配置
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Filmetrics F60-C
适用于产线全自动膜厚测量
一键自动测量,操作简单
自动寻找v-槽、自动基准校正、运动联锁装置的封闭式测量台
需根据测量厚度,选择相应波长型号配置
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Filmetrics F30
F30光谱反射率系统能实时测量沉积率、沉积层厚度、光学常数(n和k值)
测量精度高于±1%
需根据测量厚度,选择相应波长型号配置
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Filmetrics® R50-系列
● 衬底电阻率、片电阻等电性能测试
● 非透明,金属膜和背面工艺层厚度测量
● 可选配接触式四点探头和非接触式涡流探头
● 性价比高
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