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测量项目
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PARK NX10
独有的True Non-Contact™模式 可编程自动化测量
Park消除串扰技术 亚纳米可靠性
扫描离子电导显微镜模块 丰富应用领域
性价比高 经济首选
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Tencor™ P-7
全自动 更高精度 更高效率
全电动150mmXY级、Z级,360° θ阶段
垂直范围1.2mm
顶部模式识别视图或侧视图测量可视化
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Tencor™ D-600
粗糙度 台阶高精度测量的高性价比
XY自动平台 200mm平台
垂直范围1.2mm
用于测量可视化的侧视图光学系统
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Lumina AT1系列
型 号 :AT1/2
产 地 :美国
采用光学表面分析(OSA)专用技术的自动特征缺陷(DOI)检测与分类系统。
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Lumina AT2系列
● 最高分辨率可达 100nm PSL
● 全幅面 扫描 最大视场可达450*450mm
● 软件自动分筛统计”划痕,凹凸点,沾污,颗粒"等缺陷
● 透明样品 可实现空间缺陷点位(夹层缺陷判别)
● 样品无形状要求(不要求圆片)
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