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测量项目
Lumina AT-Auto系列
型 号 ：AT1/2
产 地 ：美国
采用光学表面分析（OSA）专用技术的自动特征缺陷（DOI）检测与分类系统。
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Lumina AT-EFEM系列
● 最高分辨率可达 100nm PSL
● 全幅面 扫描 最大视场可达"600*600mm"
● 软件自动分筛统计”划痕，凹凸点，沾污，颗粒"等缺陷
● 透明样品 可实现空间缺陷点位（夹层缺陷判别）
● 样品无形状要求（不要求圆片）
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Filmetrics F20
● 速度快 经济实惠 全球销冠
● 一键自动测量 操作简单
● 最快不到1s,完成厚度和反射率测试
（需根据测量厚度，选择相应波长型号配置）
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Filmetrics F3-sX
● 测量半导体与介电层薄膜厚度到3毫米
● 一键自动测量，操作简单
● 最快不到1s，完成厚度和反射率测试
（需根据测量厚度，选择相应波长型号配置）
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Filmetrics F3-CS
● 为微小视野及微小样品测量设计，如聚对二甲苯和真空镀膜层厚度
● 一键自动测量，操作简单
● 最快不到1s，完成厚度和反射率测试
（需根据测量厚度，选择相应波长型号配置）
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Filmetrics F10-ARc
● 适用测量曲面样品 眼镜镜片 镜头
● 一键自动测量 操作简单
● 最快不到1s，完成厚度和反射率测试
（需根据测量厚度，选择相应波长型号配置）
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Filmetrics F10-RT
● 适用真空镀膜产品，反射和透色光谱
● 一键自动测量，操作简单
● 最快不到1s，完成厚度和反射率测试
（需根据测量厚度，选择相应波长型号配置）
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Filmetrics F10-HC
● 分析单层和多层硬涂层，如汽车涂层
● 一键自动测量，操作简单
● 最快不到1s，完成厚度和反射率测试
（需根据测量厚度，选择相应波长型号配置）
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Filmetrics F10-AR
● 分析减反涂层和镜头上的硬涂层
● 一键自动测量，操作简单
● 最快不到1s，完成厚度和反射率测试
（需根据测量厚度，选择相应波长型号配置）
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