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光学3D显微轮廓测量
FocalSpec CT Series
● 重复精度50纳米；
● 完美适应“透明"，"高反光" 等复杂表面材料
● 可测量平面度、粗糙度、轮廓台阶等3D尺寸
● 最大扫描成像 视场 300*300mm（兼容12" wafer)
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光谱共聚焦3D轮廓仪
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♦ 适用于透明/高反光 等复杂样品表面的扫描成像
♦ 最大扫描重复精度可达 50nm
♦ 2D平面尺寸，3D轮廓高低台阶，3D平面度面型测量，表面粗糙度 测试，3D-CAD对比功能，线轮廓度，面轮廓度等
♦ 灵活测试方案，可以做产线自动化订制；实现在线全检。
♦ 最大拼接视野 可达300*300mm
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透明玻璃/高反光金属 手机混合类材料3D检测/测量
平面度/平整度测试/ BGA植绒球
大视野下 纳米级 粗糙度表面分析
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KLA-Profilm 3D
● 亚纳米级别精度下，
● 最大可实现厘米级视野（自动拼接）
● 平面度/平整度/面型测量，涵盖粗糙度，台阶轮廓等测量功能；
（KLA知名品牌，售价低，高性价比）
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MicroProf@半/全自动系列
● 纳米级别精度下，
● 最大可满足12寸晶圆全幅面测量
● 平面度/平整度/面型测量，涵盖TTV BOW WARP，粗糙度，膜厚等测量功能
（适用实验离线分析 和 产线线上全自动分析）
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MicroProf®AP
晶圆3D轮廓显微测量
Max 300mm范围 全视野 3D轮廓扫描测量
全自动 实现TTV BOW WARP 粗糙度等测试
MicroProf AP系列 全自动系列
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MicroProf®DI
晶圆3D轮廓显微测量
Max300mm范围 全视野 3D轮廓扫描测量
全自动 实现TTV BOW WARP 粗糙度等测试
MicroProf DI系列 全自动系列
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MicroProf®FE
晶圆3D轮廓显微测量
Max 300mm范围 全视野 3D轮廓扫描测量
全自动 实现TTV BOW WARP 粗糙度等测试
MicroProf FE系列 全自动系列
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MicroProf®FS
晶圆3D轮廓显微测量
Max 300mm范围 全视野 3D轮廓扫描测量
全自动 实现TTV BOW WARP 粗糙度等测试
MicroProf FS系列 全自动系列
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ALICONA InfiniteG5
● 20纳米级别精度，
● 丰富的旋转平台配件，"全自动" 360度扫描成像
● 适用复杂空间结构尺寸测量要求，且可逆向设计
（典型案例：刀具、喷油嘴，高精密齿轮，涡轮片等）
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ALICONA EdgeMaster
● 20纳米级别精度，
● 丰富的旋转平台配件，"半自动" 360度扫描成像
● 适用复杂空间结构尺寸测量要求，且可逆向设计
（典型案例：刀具、喷油嘴，高精密齿轮，涡轮片等）
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