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多功能 光谱共聚焦3D轮廓仪 FocalSpec
FocalSpec CT Series
● 重复精度50纳米；
● 完美适应“透明"，"高反光" 等复杂表面材料
● 可测量平面度、粗糙度、轮廓台阶等3D尺寸
● 最大扫描成像 视场 300*300mm（兼容12" wafer)
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光谱共聚焦3D轮廓仪
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♦ 适用于透明/高反光 等复杂样品表面的扫描成像
♦ 最大扫描重复精度可达 50nm
♦ 2D平面尺寸，3D轮廓高低台阶，3D平面度面型测量，表面粗糙度 测试，3D-CAD对比功能，线轮廓度，面轮廓度等
♦ 灵活测试方案，可以做产线自动化订制；实现在线全检。
♦ 最大拼接视野 可达300*300mm
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透明玻璃/高反光金属 手机混合类材料3D检测/测量
平面度/平整度测试/ BGA植绒球
大视野下 纳米级 粗糙度表面分析
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