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纳米级 全自动 接触式 台阶仪 KLA-Tencor

Tencor™ P-7
纳米级 全自动接触式台阶仪

Tencor™ P-7

全自动 接触式台阶仪
全自动 更高精度 更高效率
全电动150mmXY级、Z级,360° θ阶段
垂直范围1.2mm
顶部模式识别视图或侧视图测量可视化
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