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团队超20年的从业经验，熟知光学、光谱、电性等行业测试，我会在最快的时间与您联络；
销售：廖经理
手机：18620906383
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激光 表面缺陷分析 Lumina
Lumina AT1系列
型 号 ：AT1/2
产 地 ：美国
采用光学表面分析（OSA）专用技术的自动特征缺陷（DOI）检测与分类系统。
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Lumina AT2系列
● 最高分辨率可达 100nm PSL
● 全幅面 扫描 最大视场可达450*450mm
● 软件自动分筛统计”划痕，凹凸点，沾污，颗粒"等缺陷
● 透明样品 可实现空间缺陷点位（夹层缺陷判别）
● 样品无形状要求（不要求圆片）
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Lumina AT-Auto系列
型 号 ：AT1/2
产 地 ：美国
采用光学表面分析（OSA）专用技术的自动特征缺陷（DOI）检测与分类系统。
点击查询
Lumina AT-EFEM系列
● 最高分辨率可达 100nm PSL
● 全幅面 扫描 最大视场可达"600*600mm"
● 软件自动分筛统计”划痕，凹凸点，沾污，颗粒"等缺陷
● 透明样品 可实现空间缺陷点位（夹层缺陷判别）
● 样品无形状要求（不要求圆片）
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