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透明膜层 面型厚度测量 Filmetrics

Filmetrics F50-系列
透明膜层 面型厚度测量

Filmetrics F50-系列

速度快,可形成3D面型厚度分布
XY自动采点获取信息,并行程3D面型数据
样品直径可达450毫米
需根据测量厚度,选择相应波长型号配置
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Filmetrics F54 XY-200
透明膜层 面型厚度测量

Filmetrics F54 XY-200

更加高级光谱反射系统
XY自动采点获取信息,并行程3D面型数据
适用尺寸最大达到200mm×200mm
需根据测量厚度,选择相应波长型号配置
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Filmetrics F60-T
透明膜层 面型厚度测量

Filmetrics F60-T

自动化测试膜厚和折射率
XY自动采点获取信息,并行程3D面型数据
凹槽自动检测、自动基准确定、全封闭测量平台
需根据测量厚度,选择相应波长型号配置
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Filmetrics F60-C
透明膜层 面型厚度测量

Filmetrics F60-C

自动晶圆传输薄膜厚度测绘系统
适用于产线全自动膜厚测量
一键自动测量,操作简单
自动寻找v-槽、自动基准校正、运动联锁装置的封闭式测量台
需根据测量厚度,选择相应波长型号配置
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