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透明膜层 在线膜厚测量 Filmetrics

Filmetrics F30
透明膜层 在线膜厚测量

Filmetrics F30

在线监控薄膜沉积厚度
F30光谱反射率系统能实时测量沉积率、沉积层厚度、光学常数(n和k值)
测量精度高于±1%
需根据测量厚度,选择相应波长型号配置
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