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小型手动探针台 Semishare
M系列小型手动探针台
兼容4/6寸平台大小
测试器件的PAD点大于30μm
DC直流/(IV、CV、I-t、V-t),DC直流/低电流（100fA级）测试，1/f噪声测试，器件表征测试，RF射频
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H系列综合性手动探针台
兼容6/8/12寸平台
卡盘移动技术，可满足客户对整片晶圆高效测试的需求
可搭配不同的套件实现更宽泛的测试功能
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FA系列 失效分析型探针台
兼容1/2寸平台
兼容高倍率金相显微镜，可达到1μm以上的Pad测试
高精度系统，激光加工精度可达1*1μm
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C系列 高低温手动探针台
兼容12寸平台
高低温环境下，0.2微米以上芯片内部线路/电极/PAD测试、高频、射频测试
高低温环境下，LD/LED/PD测试，PCB/封装器件测试，材料/器件的IV/CV特性测试
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CG真空高低温探针台
兼容2/4寸平台
探针定位精确为10um,探针漂移量优于土60nm/30mins的高精度点针
实现测试漏电精度达50FA
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